離子探針的數據系統和應用
用計算機接收掃描離子像的優(yōu)點(diǎn)為：
　　a ．當樣品易損壞或要求快速分析時(shí)，快速接收是非常重要的。
　　b ．能貯存所有信息，且不太費時(shí)。
　　c ．圖像易貯存在磁盤(pán)、光盤(pán)或磁帶上，便于傳送、再顯；
　　d ．生處理數據以得到最大的信息。
　　市場(chǎng)上可以買(mǎi)到一些常用的離子探針計算機系統。如英國VG 公司的VGX 7000 系列，使用DEC 公司的PDP11/23 小型機，Micro-RSX 操作系統�？山邮蘸吞幚矶�次離子或二次電子像以及常用的質(zhì)譜圖和深度剖析。具有一個(gè)8 位每幀可存512×512 像素的圖像寄存器，允許同時(shí)貯存4 幅256×256 像素的圖像，每個(gè)像素接收時(shí)間為0.3ms ，一幅256×256 的像，最少時(shí)間為20s�，F又開(kāi)發(fā)出TOF?SIMS 系統，可同時(shí)至多接收8 幅像，每幅像中至多可包含20 個(gè)峰（或峰群）。美國Charles Evans & Associates 公司開(kāi)發(fā)3PC-1 數據系統，輻照計| 聲級計| 溫濕度計| 紅外線(xiàn)測溫儀| 溫濕度儀| 紅外線(xiàn)溫度計| 露點(diǎn)儀| 亮度計| 溫度記錄儀|可用于Cameca 離子顯微鏡。使用IBM 公司的PC-AT 微機，提供常用的質(zhì)譜圖、深度剖析軟件和接收離子像功能。所帶的附件能現調離子像且調節強度標尺，產(chǎn)生追溯線(xiàn)掃描，實(shí)現多維圖像接收和處理等功能。用計算機接收時(shí)，利用位敏檢測器（該公司是電阻性阻極編碼器，型號為RAE ? SPC），能指定到達二次離子位置，產(chǎn)生一幅元素分布圖。
 
應用
成像離子探針適用于許多不同類(lèi)型的樣品。下面給出一些代表性例子。
（1）金屬樣品
　　這是理想的樣品，不會(huì )荷電。首先可用SEM 直接找出感興趣的分析區。使用剖面樣品和使用掃描離子探針，沿剖面線(xiàn)掃描的方法是一種有用的技術(shù)，可作為動(dòng)態(tài)SIMS 的補充�？捎糜诮饘傺趸�物成長(cháng)、腐蝕、焊接、應力失效斷裂和晶粒間界偏析等方面的研究。
（2）半導體器件
　　檢測摻雜分布剖面和層形結構。隨著(zhù)超大規模集成電路的發(fā)展，掃描離子探針?lè )治鲈絹?lái)越重要。
（3）非導體樣品
　　高聚物和玻璃產(chǎn)品是典型絕緣樣品。為子解決荷電問(wèn)題，已開(kāi)發(fā)出了微聚焦掃描原子束，可以對絕緣樣品產(chǎn)生高質(zhì)量的離子像。但當橫向分辨率需優(yōu)于5μm 時(shí)，上述源就不能滿(mǎn)足要求了。此時(shí)仍需用聚焦微離子束。這方面己成功地得到了家蠅復眼的離子像。應用的另一個(gè)領(lǐng)域是復合材料，尤其是研究這類(lèi)材料破裂界面的情況。