無(wú)機質(zhì)譜儀之電感耦合等離子體質(zhì)譜儀
在下圖所示電感禍合等離子體（ICP）離子源的石英炬管中通以氬氣，利用熱電離或場(chǎng)致電離法產(chǎn)生原始電子；原始電子在高頻感應線(xiàn)圈產(chǎn)生的電磁場(chǎng)作用下撞擊氣體，使后者電離，形成高溫等離子體；溶于水或有機溶劑中的試樣由載氣氬氣帶入霧化器中，霧化的試樣進(jìn)入等離子體的中心通道時(shí)迅速蒸發(fā)并電離；利用取樣錐中部的小孔（孔徑0.5～lmm ）從等離子體中引出離子，使之進(jìn)入質(zhì)量分析器；利用氬氣把等離子體與炬管分開(kāi)，以免燒毀炬管；采用逐級降壓的措施，使在常壓狀態(tài)中取出的離子得以進(jìn)入高真空狀態(tài)的分析器中。由于離子能量分散不大，譜圖簡(jiǎn)單易認，采用四極桿濾質(zhì)器即可進(jìn)行質(zhì)譜分析。

　　典型產(chǎn)品有：Perkin-Elmer 與Sciex 公司生產(chǎn)的ELAN 500P，采用自激式射頻發(fā)生器，頻率40MHz ，功率0.7～1.5kw ，能快速給出78 個(gè)元素的分析結果，檢測限10-10～10-11g / ml ; VG公司的PQ2, m /e=1～300 ，△ m=1 ，豐度靈敏度1×10-6，四極桿直徑12mm ； VG Laser Lab 公司采用功率500mJ、聚焦成直徑20μm 的脈沖激光束使固體樣品氣化，60s內即可分析所有元素；VG Plasma Trace ，采用雙聚焦質(zhì)量分析器，m/△m=400～10000，可進(jìn)行高精度痕量分析。
　　ICP 質(zhì)譜儀的譜線(xiàn)簡(jiǎn)單易認，靈敏度與測量精度很高，可與氣相色譜、液相色譜、電熱蒸發(fā)、流動(dòng)注射分析法聯(lián)用；Finnigan MAT 公司甚至推出ICP 質(zhì)譜與GD 質(zhì)譜兩用的SOLA 型產(chǎn)品；美國Thermo Jarrell Ash 公司則推出POMES 型ICD 發(fā)射光譜儀與ICD 質(zhì)譜儀兩用產(chǎn)品（光譜分析的波長(cháng)范圍170～800nm ，質(zhì)譜分析范圍1～256Da ）。