氦氣檢漏儀的工作原理
主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成.
離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子.
分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同;
在磁場(chǎng)中就會(huì )按照不同軌道半徑運動(dòng)而進(jìn)行分離,再設計時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上.
收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器.通過(guò)測量離子流就可知漏率.
冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力保護裝置.
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