傳感器工作原理分類(lèi)和制造工藝分類(lèi) 根據傳感器工作原理,可分為物理
傳感器和化學(xué)
傳感器二大類(lèi) :
傳感器工作原理的分類(lèi)物理
傳感器應用的是物理效應,諸如壓電效應,磁致伸縮現象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應。被測信號量的微小變化都將轉換成電信號。
化學(xué)
傳感器包括那些以化學(xué)吸附、電化學(xué)反應等現象為因果關(guān)系的
傳感器,被測信號量的微小變化也將轉換成電信號。
有些傳感器分類(lèi)既不能劃分到物理類(lèi),也不能劃分為化學(xué)類(lèi)。大多數傳感器是以物理原理為基礎運作的;瘜W(xué)傳感器技術(shù)問(wèn)題較多,例如可靠性問(wèn)題,規模生產(chǎn)的可能性,價(jià)格問(wèn)題等,解決了這類(lèi)難題,化學(xué)傳感器的應用將會(huì )有巨大增長(cháng)。
按照其制造工藝,可以將傳感器區分為: 集成傳感器、薄膜傳感器、厚膜傳感器、陶瓷傳感器 集成傳感器是用標準的生產(chǎn)硅基半導體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。
頻閃儀|
測高儀|
測距儀|
金屬探測器|
試驗機|
扭力計|
流速儀|
粗糙度儀|
流量計|
平衡儀|
薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。
厚膜傳感器是利用相應材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。
陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。
完成適當的預備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。
每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及傳感器參數的高穩定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理!