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電子能譜儀的激發(fā)源

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電子能譜儀的激發(fā)源

電子能譜儀通常采用的激發(fā)源有三種：X射線(xiàn)源、真空紫外燈和電子槍。商品譜儀中將這些激發(fā)源組裝在同一個(gè)樣品室中，成為一個(gè)多種功能的綜合能譜儀。 相序表| 萬(wàn)用表| 功率計| 示波器| 電阻測試儀| 電阻計| 電表| 鉗表| 高斯計| 電磁場(chǎng)測試儀| 電源供應器


電子能譜常用激發(fā)源
激發(fā)源
能量范圍（eV）
線(xiàn)寬（eV）
應用范圍
x射線(xiàn)（Al，Mg等）
~1000
~0.8
內層和價(jià)層電子
紫外光（HeI，II等）
~20-40
<0.01
價(jià)電子
電子槍
~2000-5000
<0.5
俄歇電子
 
1.Ｘ射線(xiàn)源

　　XPS中最常用的X射線(xiàn)源主要由燈絲、柵極和陽(yáng)極靶構成。
　　要獲得高分辨譜圖和減少伴峰的干擾，可以采用射線(xiàn)單色器來(lái)實(shí)現。即用球面彎曲的石英晶體制成，能夠使來(lái)自X射線(xiàn)源的光線(xiàn)產(chǎn)生衍射和“聚焦”，從而去掉伴線(xiàn)和韌致輻射，并降低能量寬度，提高譜儀的分辨率。
雙陽(yáng)極X射線(xiàn)源示意圖
 
2.紫外光源

　　紫外光電子能譜儀中使用的高強度單色紫外線(xiàn)源常用稀有氣體的放電共振燈提供。
UPS中的HeI氣體放電燈示意圖
 
UPS光源的光子能量
氣體
I（eV）
II（eV）
He
Ne
 
Ar
 
H
21.22
16.85
16.67
11.83
11.62
Lyman
α10.20
40.81
26.91
26.81

 
3.電子源

　　電子通常由金屬的熱發(fā)射過(guò)程得到。電子束具有可以聚焦、偏轉、對原子的電離效率高、簡(jiǎn)單易得等優(yōu)點(diǎn)，在電子能譜中，電子束主要用于俄歇電子能譜儀，因用電子槍作激發(fā)源得到的俄歇電子譜強度較大。

常用于A(yíng)ES的一種電子槍
發(fā)布人：2011/11/25 11:15:002102 發(fā)布時(shí)間：2011/11/25 11:15:00 此新聞已被瀏覽:2102次