綠色器件佳能開(kāi)始銷(xiāo)售新的高容量的FPA-3030i5 +
2012年佳能公司今天宣布，該公司已經(jīng)開(kāi)始銷(xiāo)售新的FPA-3030i5 + i線(xiàn)步進(jìn)設計，以提供高效節能的“綠色設備”制造一個(gè)長(cháng)期的制造解決方案，和MEMS （微機電系統）設備。


Canon FPA-3030i5+ 

作為清潔能源和節能增加的認識，也有新的需求，“綠色技術(shù)”，包括風(fēng)能和太陽(yáng)能發(fā)電，車(chē)輛的燃油效率，低功耗的設施和環(huán)保設備。趨勢表明，向產(chǎn)品和運營(yíng)對環(huán)境的影響減少驅動(dòng)器。
真空表| 硬度計| 探傷儀| 電子稱(chēng)| 熱像儀| 頻閃儀| 測高儀| 測距儀| 金屬探測器
環(huán)保設備制造商有獨特的工藝要求，并已納入到家計3030i5 +半導體步進(jìn)設計一些新的升級。 FPA-3030i5 +是專(zhuān)為各種用戶(hù)，包括功率半導體，LED（發(fā)光二極管）和MEMS制造商提供一個(gè)靈活的解決方案。

佳能FPA-3030i5 +在同類(lèi)產(chǎn)品中實(shí)現最高級別的成像分辨率，套印精度和生產(chǎn)率表現
根據通過(guò)的現場(chǎng)驗證焦平面-3000系列，在焦平面-30303i5培養技術(shù)+能夠提供低于350納米的成像分辨率* 1保持覆蓋小于40納米* 1和吞吐量超過(guò)104每小時(shí)晶圓精度的同時(shí)， * 2提供最高級別的性能，在同一類(lèi)的i線(xiàn)光刻工具。* 3佳能開(kāi)發(fā)的FPA-3030i5 +系統，以可靠地滿(mǎn)足和超越綠色器件和MEMS制造商的成像，疊加和生產(chǎn)力的要求。

FPA-3030i5 +采用新的軟件結構和電氣控制系統，允許應用先進(jìn)的硬件和軟件選項，以支持下一代半導體制造。

佳能FPA-3030i5 +支持綠色器件和MEMS制造所需的特殊基板材料
焦平面-3030平臺，允許加工硅（Si），藍寶石（Al2O3），碳化硅（SiC）和各種各樣的綠色設備制造中使用的晶圓材料。 FPA-3030i5 +選項包括翹曲晶圓處理系統允許扭曲基板的加工。的FPA-3030i5 +步進(jìn)還可以被配置來(lái)處理多個(gè)晶圓尺寸，并且可以配備多種選項，以提高生產(chǎn)力和效率。

* 1 1 nm（納米）= 1米的十億分
* 2 200毫米晶圓，每片晶圓的60桿
* 3截至2012年6月15日，在同一類(lèi)的i線(xiàn)光刻工具（基于佳能的市場(chǎng)調研）