電子能譜儀原理及組成
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電子能譜儀原理及組成
電子能譜儀是進(jìn)行結構研究的一種儀器。利用一次粒子束作為激發(fā)源激發(fā)出樣品中的二次粒子，研究二次粒子中電子部分能量分布的儀器的總稱(chēng)。若一次粒子束是電子，除激發(fā)出樣品中的二次電子外，本身會(huì )被樣品中的原子或分子所散射，其本身亦可作為測量對象。這些電子隨著(zhù)能量的不同在數量上有一個(gè)統計分布，將這個(gè)分布以能量為縱坐標，計數率為橫坐標，即得電子能譜圖。
電子能譜儀主要由激發(fā)源、電子能量分析器、探測電子的監測器和真空系統等幾個(gè)部分組成。
發(fā)布人：2010/5/11 11:26:001420
發(fā)布時(shí)間：2010/5/11 11:26:00
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