雙頻激光干涉儀的優(yōu)越性
1. 精度高:雙頻激光干涉儀以波長(cháng)作為標準對被測長(cháng)度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm 量級,細分后更可達到nm量級。
2. 應用范圍廣:雙頻激光干涉儀除了可用于長(cháng)度的精密測量外,配上適當的附件還可測量角度、直線(xiàn)度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等。
3. 環(huán)境適應力強:即使光強衰減 90%,仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點(diǎn),雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機,也可以在普通的車(chē)間內為大型的機床的刻度進(jìn)行標定。
4. 實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測量,測速高:現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1 m/s,有的甚至于十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測量。