X射線(xiàn)光電子能譜儀的能量掃描方式與分辨率和靈敏度關(guān)系
在固定儀器條件下，分析器調定的通過(guò)能量E0 愈小，對譜峰的展寬貢獻△E1/2（分析器）愈小，因此較高動(dòng)能的光電子進(jìn)入分析器前，最好予先減速。減速有兩種方式：一種是固定分析器能量（CAE 或FAT ) ，不同動(dòng)能的光電子經(jīng)不同的減速場(chǎng)作用，最后分別減速為一定的動(dòng)能E0 進(jìn)入分析器；另一種是固定減速比（CRR 或FRR），不同動(dòng)能的光電子經(jīng)不同的減速場(chǎng)作用，使減速前動(dòng)能E K″（下圖）與減速后進(jìn)入分析器能量E0之比k=EK″/E0為一常數。后者與前者相比，除了都有減速場(chǎng)能量掃描，還必須多一個(gè)分析器能量掃描與之同步配合。

　　在CAE 能量掃描方式中，從分辨率考慮，△E1/2（分析器）為一常數，選擇的E0愈大，則△E1/2（分析器）愈大；從靈敏度考慮，選擇的E0愈大及減速前光電子動(dòng)能愈小，則靈敏度愈大（即不需要大的減速場(chǎng)）。在CRR 能量掃描方式中，從分辨率考慮，△E1/2（分析器）/ E0為一常數，選擇的k 愈大，則E0及相應△E1/2（分析器）愈��；從靈敏度考慮，選擇k 愈小及減速前光電子動(dòng)能愈大（即大的E0= E K″/k），則靈敏度愈大。
　　對于XPS，一般采用CAE 掃描方式。XPS的譜峰比較窄，峰形包含豐富的化學(xué)信息，采用CAE 掃描方式，分析器外加激發(fā)源對全譜圖每個(gè)峰的分辨率貢獻都是一樣的，并且可以通過(guò)選擇不同的E0，控制譜峰分辨率。然而缺點(diǎn)是低動(dòng)能端非彈性散射電子和二次電子形成的高背景由于靈敏度大，進(jìn)一步受到夸大，另外如果對分析器透鏡沒(méi)有特殊考慮時(shí)，有時(shí)不同動(dòng)能的光電子，因施加的減速場(chǎng)不同，從而取樣面積隨光電子動(dòng)能的不同而改變。
　　對于A(yíng)ES ，一般采用CRR 掃描方式。俄歇譜峰涉及三個(gè)電子能級，譜峰本來(lái)就很寬，高達幾個(gè)電子伏特，特別是AES 處于高空間分辨率情況，小電子束斑的束流很低，為了保證足夠靈敏度，更是在低分辨率情況下工作，這樣△E1/2（分析器）的變化與本來(lái)就很寬的峰相比并不關(guān)鍵，另外俄歇電子能譜以電子槍為激發(fā)源時(shí)，希望利用上述CRR 的靈敏度規律對其大量低能非彈性散射電子形成高背景有壓低作用，使整個(gè)譜圖平緩。然而在這種掃描方式中，不同動(dòng)能的俄歇電子入射到檢測器的E0不固定，造成檢測器增益不為常數，使俄歇峰強度隨俄歇電子動(dòng)能的不同，呈現未知的變化